钛强制循环泵零件的电源和性能

  钛强制循环泵的电源是高内阻电源，空载输出电压在3-7kv之间，但负载电流大时输出电压下降到400V V左右，一般循环泵采用5KV倍压整流电源。通过流经钛强制循环泵阳极和阴极的放电电流可以反映出被抽空间的真空度。循环泵在额定电压和磁场强度下的放电电流Iion(mA)与压强P(Torr)有一定的曲线关系。因此，循环泵的电源可以反映压力。

泵电源面板显示:输出DC高压、钛强制循环泵放电电流等。

(1)极限压力:10-8 Pa

(2)泵送速度:

  钛强制循环泵的抽速与阳极电压和磁场强度有关。磁场强时，抽气速度也高，较好的抽气速度对应的阳极电压也高。常用钛强制循环泵的抽速有25升/秒和5升/秒。对于需要大抽速的场合，抽速可达50 L/s、100 L/s等。通过并联连接基本结构单元。

(3)启动压力:10-2 Pa

(4)寿命

a、阴极耗尽寿命

  阴极钛板因溅射穿透而不能使用。

b、阳极剥离寿命

  当沉积在阳极上的钛膜厚度过大时，就会剥落，导致泵内压力发生不规则而强烈的变化，使泵无法使用。

c、阳极饱和寿命

  大量的氦气和氢气被吸附溶解在阳极上，达到饱和时泵就不能再吸附气体了。

  在正常使用情况下，循环泵的使用寿命可达数万小时。