钛化工轴流泵的除气机理介绍

（1） 对活性气体的抽除

对N2、O2、CO和CO2等气体的排除主要靠淀积于阳极筒内壁上的钛膜的化学吸附。

（2） 对氢气的抽除

对氢气的抽除有化学吸附，也有扩散、吸收、溶解作用。

（3） 对惰性气体的抽除

对惰性气体的排除，主要靠离子“掩埋”，被电离的惰性气体的离子轰击阴极时，有以下三种情况：

a、离子直接打入阴极内，或打入阴极边缘对面的阳极板上的钛淀积层内；

b、斜射的离子切入阴极表面，离子和钛一起被掀掉而沉积在阴极板的周围或其它地方；

c、离子没有打入板内，但是从阴极得到电子而复合为中性原子，然后又反射到阳极内表面的钛膜中。